微波化学气相沉积炉

微波化学气相沉积炉

产品型号:WBMW-QXCJ4

负责人:赵德厂

QQ:1835050279

手机:13523060866

产品详情

 产品特点:

1. 才用纯微波加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的任何材料,
2.
升温速率快,智能控温,可分段设置,控温精度高,热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区,且加热区长度可调。
3.
可通各种气氛,抽真空有机械泵、扩撒泵和分子泵,可达10-3Pa真空状态。
4
、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构),耐高温、耐腐蚀;
5
、保护管采用耐高温合金管 ,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;
6
、炉体配有自动冷却风扇,降低温度;
8
、真空系统:机械泵 扩散泵和分子泵,真空密度计
9
、可通过电脑全程监控和调试;
 
产品参数:

型号/model

WBMW-QXCJ4

可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热、传统电加热、混合加热

大功率/KW

4  (功率可调)

温度测试元件

微波场传感器

控温精度/

±2

加热管材质

石英管

高温合金管

刚玉管

加热温度/

1200

1200

1600

管径(外径/内经X长度)/mm

45/35×1200,可选配,大外径60mm

加热速度(高)

200

升温速率不限

50

恒温区长度

标配恒温区长度10mm,恒温去长度10mm1000mm以上可选

温区

可多温区同时加热

气路法兰

不锈钢法兰

质量流量控制

美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器
气柜、气路及各类阀门,可配套计算机自动控制系统及软件

气路数量

2路或3

流量范围

0-1SLM(标准升/分,可选配)氮气标定

精度

±0.2%F.S

响应时间

1sec

工作压力

进气压力0.05-0.35Mpa(表压力),流量规格≤10SLM

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

高真空

系统真空范围

标准大气压~10-3Pa

真空泵

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰
10-1Pa
真空用高品质机械泵及真空计
10-2Pa
真空用高品质机械泵、扩散泵及真空计
10-3Pa
真空用高品质机械泵、分子泵及真空计

炉腔尺寸/mm

700X350X530

加热腔(标配)

0.5-3L 2

加热腔大小

0.94L2.12L3.8L

升温速率(标配)

01000/min可根据实际任意设定,可编程、分段加热

外型尺寸/mm

1500´750´1560

微波泄漏/  mW/

0.4

提供相关配件

高温手套×1、中文说明书×1

保质期

整机保修1

 

您可以通过在线留言联系我们: